9月8日，2018年“未來科學(xué)大獎(jiǎng)”揭曉。李家洋、袁隆平、張啟發(fā)三人因水稻新品種方面的貢獻(xiàn)摘得“生命科學(xué)家”；馬大為、馮小明、周其林三人因新催化劑和新反應(yīng)方面的創(chuàng)造性貢獻(xiàn)摘得“物質(zhì)科學(xué)獎(jiǎng)”；臺(tái)積電傳奇林本堅(jiān)因持續(xù)擴(kuò)展納米級(jí)集成電路制造摘得“數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)”。每項(xiàng)獎(jiǎng)的獎(jiǎng)金總額為100萬美元。

首位臺(tái)灣得主

　　這個(gè)由民間科學(xué)公益組織未來論壇發(fā)起、12位知名企業(yè)家和投資者捐贈(zèng)的中國民間科學(xué)大獎(jiǎng)已走到第三屆。它的宗旨是獎(jiǎng)勵(lì)在大中華地區(qū)做出具有國際影響力的原創(chuàng)科研工作的科學(xué)家。

　　美國Scripps 研究所化學(xué)系教授余金權(quán)表示，人才儲(chǔ)備是中國的一個(gè)優(yōu)勢(shì)，現(xiàn)在也有很多鼓勵(lì)外國優(yōu)秀人才來華的措施。未來科學(xué)大獎(jiǎng)本質(zhì)上是為了獎(jiǎng)勵(lì)科學(xué)，“不管你是哪里人，只要是在中國作出了科學(xué)貢獻(xiàn)，都有機(jī)會(huì)拿這個(gè)獎(jiǎng)。”

　　本屆未來科學(xué)大獎(jiǎng)出現(xiàn)了首位來自中國臺(tái)灣的獲獎(jiǎng)?wù)?。在現(xiàn)場電話連線時(shí)，曾為臺(tái)積電研發(fā)副總裁的林本堅(jiān)說道：“我本來以為，大陸比較不知道這件事，現(xiàn)在我知道，大陸也很清楚我在半導(dǎo)體、電子上做的一點(diǎn)小小的貢獻(xiàn)。”

　　其實(shí)，林本堅(jiān)所做的確實(shí)是“小小的貢獻(xiàn)”：他開拓了浸潤式微影系統(tǒng)方法，持續(xù)擴(kuò)展納米級(jí)集成電路制造，將摩爾定律延伸多代。

　　所謂摩爾定律，由英特爾的創(chuàng)始人之一戈登·摩爾提出。其內(nèi)容為：當(dāng)價(jià)格不變時(shí)，集成電路上可容納的元器件數(shù)目，約每隔18-24個(gè)月便會(huì)增加一倍。從笨重的大型電腦到掌上輕巧的智能手機(jī)，摩爾定律的魔力無所不在。

　　大獎(jiǎng)科學(xué)委員會(huì)今年的新增委員、臺(tái)灣新竹大學(xué)校長張懋中同樣從事電子學(xué)和半導(dǎo)體方面的研究。

　　他說道，今年是集成電路發(fā)明第60年，而摩爾定律就是人們發(fā)展半導(dǎo)體工藝時(shí)跟隨的“路線圖”。

　　具體來講，林本堅(jiān)發(fā)展的是芯片制造中一種名為“光刻”（臺(tái)灣稱為“微影”）的工藝。在光照作用下，人們利用刻蝕的方法，將掩膜版上的圖形進(jìn)一步縮小轉(zhuǎn)移到基片上。

　　“微影技術(shù)突然遭到一個(gè)沒法向前行的困難，這時(shí)候林本堅(jiān)博士就想到，把水引入光刻機(jī)里做光刻。這種工藝連續(xù)帶領(lǐng)半導(dǎo)體進(jìn)化了幾個(gè)世代！每個(gè)世代意味著集成電路大小縮為四分之一，而能力變強(qiáng)一倍。”張懋中解釋道。

　　在林本堅(jiān)提出用水浸潤，代替原本間隙中的空氣的時(shí)候，全世界都繼續(xù)堅(jiān)持干式工藝。“等于是他一個(gè)人站在一艘航空母艦前叫停。他憑什么叫停？就是在很堅(jiān)實(shí)的物理學(xué)基礎(chǔ)上、光學(xué)基礎(chǔ)上，加以透徹的解釋，光刻在怎樣的規(guī)律下才能繼續(xù)前進(jìn)。這就是他得獎(jiǎng)的原因。”

　　張懋中透露，《孟子》中的“雖萬千人吾往矣”是林本堅(jiān)最喜歡的一句話。他認(rèn)為，這帶給我們的一個(gè)啟示是，不要隨便走又熱又鬧的路，有時(shí)候要走一條比較冷僻的路。

原標(biāo)題：“未來科學(xué)大獎(jiǎng)”迎首位臺(tái)灣得主：做半導(dǎo)體“雖萬千人吾往矣”

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