記者日前從上杭縣有關(guān)部門獲悉，在第五屆中國(guó)先進(jìn)技術(shù)轉(zhuǎn)化應(yīng)用大賽上，上杭縣企業(yè)福建德爾科技股份有限公司參賽項(xiàng)目“芯片蝕刻清洗用三氟化氯顛覆性技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”獲得全國(guó)總決賽銀獎(jiǎng)。
據(jù)了解，第五屆中國(guó)先進(jìn)技術(shù)轉(zhuǎn)化應(yīng)用大賽綜合賽總決賽前不久在河北省保定市舉辦，來(lái)自全國(guó)各地重點(diǎn)高校、知名科研院所、行業(yè)龍頭企業(yè)和新興創(chuàng)新企業(yè)的200個(gè)優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目參加全國(guó)總決賽。福建德爾科技股份有限公司參賽項(xiàng)目“芯片蝕刻清洗用三氟化氯顛覆性技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”獲先進(jìn)材料領(lǐng)域全國(guó)第二名的好成績(jī)，代表了該公司在含氟電子氣體領(lǐng)域自主研發(fā)和科技創(chuàng)新的最新成就。該項(xiàng)目填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體關(guān)鍵材料領(lǐng)域的空白，使我國(guó)成為繼日本和美國(guó)之后全球第三個(gè)成功實(shí)現(xiàn)電子級(jí)三氟化氯產(chǎn)業(yè)化的國(guó)家。
近年來(lái)，上杭縣不斷優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局，加速先進(jìn)技術(shù)轉(zhuǎn)化應(yīng)用，重點(diǎn)支持半導(dǎo)體先進(jìn)材料和新能源等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展，逐漸培育了一批具備創(chuàng)新能力、產(chǎn)業(yè)規(guī)模的半導(dǎo)體先進(jìn)材料企業(yè)，成為推動(dòng)上杭老區(qū)高質(zhì)量發(fā)展的新引擎。本次獲獎(jiǎng)是該縣企業(yè)繼去年、今年兩次獲得全國(guó)顛覆性技術(shù)創(chuàng)新大賽總決賽最高獎(jiǎng)后，再次獲全國(guó)性大獎(jiǎng)。（記者 張杰 通訊員 林斯乾 邱桂祥）
