中新社蘇州3月25日電 題:“太空園林”:探訪中國納米真空互聯(lián)實驗站
中新社記者 張素
以古典園林聞名于世的江蘇蘇州,2014年以來正在建設全球最大的超高真空互聯(lián)科研大型裝置。中新社記者近日探訪此處。
“這個實驗裝置是在類似太空的全真空環(huán)境下的納米器件研發(fā)平臺,相當于把現(xiàn)有的加工設備統(tǒng)一搬到太空。”中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員、納米真空互聯(lián)實驗站常務副總指揮丁孫安說。
記者在現(xiàn)場見到,30米長的金屬管道筆直貫穿實驗室,每隔1.5米有一個離子泵不停地抽真空。管道一側連接數(shù)臺設備,另一側有電腦屏幕顯示著進度,全程自動化運行。
“目前納米真空互聯(lián)模擬實驗裝置調試成功,過渡期小型驗證裝置正在調試試運行。同時已開展好幾個研究課題,比如精準測量半導體異質結能帶結構。”丁孫安說。
當前世界最長的真空互聯(lián)科研裝置是40米長、連接20臺設備的法國真空互聯(lián)管道。根據(jù)中國科學家的設想,計劃在2018年底建成“太空園林”首期:一條長達100米的真空管道連接30多臺設備。最終要用8至10年建成長約500米的超高真空管道,以“豐”型結構將上百臺用于材料生長、器件制備、測試分析的大型儀器互聯(lián)。
“太空園林”造價不菲,首期建設經(jīng)費3.2億元(人民幣,下同),總預算約15億元。主要建造者有中科院蘇州納米所、清華大學薛其坤院士團隊與中科院大連化學物理研究所包信和院士團隊等。
蘇州園林甲天下,為何要新辟這個“太空園林”?
“未來的電子元器件將發(fā)展到納米級,但那么小的器件以目前的工藝,還有很多效應無法解決,需要一種全新的技術路線。”丁孫安解釋說。此外,納米科學技術研究中許多問題需要多種手段、多臺設備聯(lián)合解決,當前同一材料樣品在不同設備間轉換,暴露于空氣中,性能會發(fā)生改變。
但在“太空園林”,硅片等樣品在管道里“坐著小車”至不同設備,它們的表面不會被外界環(huán)境破壞??蒲泄ぷ髡呖梢栽诖碎_發(fā)新工藝,比如制造出超導器件、半導體器件等對表面敏感的材料器件,或是設計、制備量子材料,生產(chǎn)出更智能、更小巧、更可靠的器件。
進一步說,這些器件應用在通信、信息、人工智能等領域,或將制造出體積更小、運算速度更高的計算機,更智能的機器人,乃至讓千家萬戶用到更廉價的高性能產(chǎn)品。
“實驗站將提供一個開放的、通用的研究和開發(fā)平臺,實施開放共享、高效運行,促進不同學科間相互交流、共同創(chuàng)新。”中科院蘇州納米所所長楊輝說。
楊輝還表示,納米真空互聯(lián)實驗站所在的蘇州工業(yè)園區(qū)是全球納米領域具有代表性的產(chǎn)業(yè)區(qū)域之一。“太空園林”建成后將形成一個國際頂尖納米科技人才的聚集高地,對地方經(jīng)濟、科技具有很強的帶動與輻射作用。(完)
